Wet-Fluoride系列全氟濾芯-半導(dǎo)體Wet濕制程用全氟濾芯

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過濾打造。 優(yōu)良的濾芯設(shè)計(jì)，確保在使用時(shí)壓降低的同時(shí)兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對(duì)工藝造成污染的成分，同時(shí)在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。

產(chǎn)品描述

邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜，專為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液體過濾打造。

優(yōu)良的濾芯設(shè)計(jì)，確保在使用時(shí)壓降低的同時(shí)兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對(duì)工藝造成污染的成分，同時(shí)在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 優(yōu)秀的流量和更長(zhǎng)使用壽命

  • 優(yōu)秀的化學(xué)和溫度耐受性能

  • 全氟結(jié)構(gòu)和極低的溶出性能

  • 便捷的預(yù)濕選項(xiàng)

  • 100%濾芯完整性檢測(cè)

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材料

濾膜

PTFE

支撐層，外殼

PFA

筒式密封圈

TEV/FFKM

一體式外殼

PFA
精度

10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
膜面積

SX (φ68mm)

1.2 m2/10”

MX (φ81mm)

1.8 m2/10”

MY (φ81mm)

2.2 m2/10”

MZ (φ81mm)

2.8 m2/10”
最大使用條件

最大正向壓差

0.5 MPa (72 psi) @ 25 ℃ (77 °F)

0.2 MPa (29 psi) @ 100 ℃ (212 °F)

最大反向壓差

0.35 MPa (50 psi) @ 25 ℃ (77 °F)

最高使用溫度

筒式 100 ℃ (212 °F) 

一體式 180 ℃ (356 °F)
包裝方式 干包裝；超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝

產(chǎn)品尺寸

全氟濾芯

流量-壓差曲線

全氟濾芯全氟濾芯

訂購信息

WFC

精度

直徑

端蓋

長(zhǎng)度

密封圈

金屬潔凈度

包裝方式
 

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

J（0.2μm）

SX（φ68mm,0.9m2）

MX（φ81mm,1.8m2）

MY（φ81mm,2.2m2）

MZ（φ81mm,2.8m2）

N（222 平頭）

K（222 Plat with Lock-key）

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

T (TEV)

K（FFKM）

U（＜3ug/device）

Q（＜10ug/device）

R（＜25ug/device）

E（Electronic）

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝)

下載資料

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