平板顯示制程過濾解決方案
平板顯示主要技術(shù)包括∶液晶顯示(LCD,一般又分為TN/STN/TFT三種類型)、等離子顯示(PDP)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示(OLED)、場發(fā)射顯示器。其中TFT-LCD是目前主流的平面顯示器,其工藝制程較為成熟,以TFT-LCD全制程為例,又細(xì)分為:陣列(Array)工藝、彩膜(CF)工藝、成盒(Cell)工藝、模組(Module)工藝。在平板顯示制造過程中,過濾技術(shù)主要體現(xiàn)在陣列(Array)工藝、彩膜(CF)工藝、成盒(Cell)工藝中,尤其以陣列(Array)工藝過濾最為重要,對整個(gè)制程起著關(guān)鍵的作用。所以在平板顯示制造過程中,尤其針對高世代線,過濾產(chǎn)品的問題直接會造成大批量的報(bào)廢和損失。
平板顯示制程主要過濾方案
- 純水、超純化學(xué)品過濾解決方案:適用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工藝蝕刻液、剝離液、顯影液、清洗劑等多種濕制程化學(xué)品過濾,有機(jī)溶劑、酸、堿等電子化學(xué)品以及水過濾、基板清洗過濾等應(yīng)用。
- 濕制程工藝大流量過濾解決方案:適用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工藝濕制程高流量(Ø83系列)、高世代線G7、G8.5、G10、G10.5等用超高流量(Ø130系列)過濾應(yīng)用。
- 高純氣體過濾解決方案:適用于惰性氣體、大宗氣體、特殊氣體等過濾應(yīng)用。
- 水處理過濾解決方案: 適用于廠務(wù)水過濾、大流量蝕刻液過濾應(yīng)用
液晶面板LCD制程常見工藝流程圖
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制程工藝 | 邁博瑞推薦濾芯系列* |
純水、超純化學(xué)品過濾 | FluorPure-EV類全氟(FEV 系列)PVDF 外殼的疏水全氟濾芯 |
AfsPure全氟折疊(ACG 系列/AFG系列)超強(qiáng)化學(xué)兼容性的 PFA 全氟濾芯 | |
UltiPure 小胖全氟濾芯(Ø83 AF系列)高流速、高清潔度的全氟濾芯 | |
PolyPure-AB系列(PPA系列)高截留效率的聚丙烯折疊濾芯 | |
FluorPure-G 系列(FG系列)極強(qiáng)化學(xué)耐受能力的疏水聚四氟乙烯膜折疊濾芯 | |
FluorPure-L 系列(FL系列)高流速、強(qiáng)化學(xué)耐受性的親水聚四氟乙烯膜折疊濾芯 | |
SP系列 高流速、長使用壽命的聚醚砜膜折疊濾芯 | |
濕制程工藝大流量過濾 | Ø83/Ø130 PPC系列 面板濕制程用高通量、高流速的聚丙烯折疊濾芯 |
Ø83/Ø130 PPD系列 面板濕制程用高納污量的聚丙烯膜折疊濾芯 | |
Ø83/Ø130 PF系列 面板濕制程用高納污量的聚醚砜膜折疊濾芯 | |
Ø83/Ø130 CF系列 面板濕制程用高納污量的疏水聚四氟乙烯膜折疊濾芯 | |
Ø83/Ø130 CL系列 面板濕制程用高納污量的親水聚四氟乙烯膜折疊濾芯 | |
高純氣體過濾 | FBG系列 高效率氣體過濾疏水PTFE膜濾芯 |
GP系列 制程特殊氣體過濾全氟濾芯 | |
水處理過濾 | MicroPure Classic 系列 PP熔噴濾芯 |
AquaPure 系列 線繞濾芯 | |
MS_600 FlowPure-HF 大流量折疊濾芯 | |
MS_PlatPure 大流量折疊濾芯 | |
MS_CrossPure 大流量折疊濾芯 |
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