.jpg)
產(chǎn)品描述
邁博瑞PoliCap系列囊式濾芯是專為空間受限的先進(jìn)CMP應(yīng)用而設(shè)計。純PP材質(zhì)、結(jié)構(gòu)緊湊和拋棄式的特點使其具備低成本、方便更換的優(yōu)點。從性能角度來說，囊式濾芯內(nèi)部所含的熔噴或深層折疊濾材可以高效去除CMP slurry中造成劃傷的顆?；蚰z體，同時保留有效研磨顆粒，保持粒徑分布（PSD）不變。濾材獨特的結(jié)構(gòu)設(shè)計確保相對低的壓損、優(yōu)秀的顆粒去除效率和較長的使用壽命。
產(chǎn)品特點
- 純PP材質(zhì)，降低成本
- 熱熔焊接，無密封圈
- 拋棄式設(shè)計，方便更換并減少slurry暴露
- 可選長度和直徑，滿足不同安裝需求
- 可用深層或膜折疊濾材，滿足多種應(yīng)用需求
- 低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率
工作特性
|
材 料 |
過濾層/支撐層 |
聚丙烯 |
|
外殼/中心桿/端蓋 |
聚丙烯 |
|
|
精度 |
深層形式：0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm |
|
|
接口形式 |
進(jìn)出口 |
3/8" Flaretek1， 1/4" Flaretek1， 1/4" NPT |
|
排氣/排液口 |
1/4" Flaretek1， 1/8" NPT |
|
|
尺寸規(guī)格 |
外徑 |
70mm |
|
濾芯直徑 |
56mm |
|
|
長度 |
2.5inch，5inch |
|
|
最大使用條件 |
最大使用壓力 |
0.5 MPa (73 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
|
最大正向壓差 |
0.5 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) 0.19 MPa (27 psi) @ 82?C (179 ?F) |
|
|
最高使用溫度 |
80 ?C (176?F) |
|
1 Flaretek是Entegris公司的商標(biāo)。
產(chǎn)品尺寸
流量-壓差曲線
訂購信息
|
PCN |
濾芯類型 |
精度 |
直徑 |
接頭 |
長度 |
潔凈度 |
包裝 |
|
P (折疊濾芯) D (深層濾芯) |
001 (0.1μm) 002 (0.2μm) 003 (0.3μm) 005 (0.5μm) 007 (0.7μm) 010 (1.0μm) |
L(直徑=56mm) S(直徑=69mm) |
F32 (I/O: 3/8”Flaretek ; V/D: 1/4” Flaretek) F2N1 (I/O: 1/4”Flaretek ; V/D: 1/8” NPT) N21 (I/O: 1/4” NPT; V/D: 1/8” NPT) |
25 (2.5”) 05 (5”) |
E (電子級) |
D (干包裝) W (超純水預(yù)潤濕包裝) |