CMPro-L系列濾芯

CMPro-L系列 大流量聚丙烯深層濾芯

邁博瑞CMPro-L系列深層濾芯由復(fù)合結(jié)構(gòu)的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過濾。其獨(dú)特的梯度設(shè)計(jì)使其能夠很好地應(yīng)對化學(xué)機(jī)械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰(zhàn)。錐形孔結(jié)構(gòu)使CMPro-L在優(yōu)秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實(shí)現(xiàn)了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-L可滿足多種不同的CMP應(yīng)用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP和金屬配線CMP等。

產(chǎn)品描述

邁博瑞CMPro-L系列深層濾芯由復(fù)合結(jié)構(gòu)的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過濾。其獨(dú)特的梯度設(shè)計(jì)使其能夠很好地應(yīng)對化學(xué)機(jī)械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰(zhàn)。錐形孔結(jié)構(gòu)使CMPro-L在優(yōu)秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實(shí)現(xiàn)了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-L可滿足多種不同的CMP應(yīng)用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP和金屬配線CMP等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 梯度過濾結(jié)構(gòu)，確保濾芯的過濾效率

  • 銳利的效率曲線，顯著提升尺寸過大顆粒的去除率，同時最大程度減少有效顆粒的去除

  • 優(yōu)化使用壽命，降低成本

  • 制造過程中不添加表面活性劑和粘結(jié)劑，減少析出

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 三元乙丙橡膠
精 度 0.05μm，0.07μm，0.1μm，0.2μm，0.5μm，1.0μm，3.0μm，5.0μm，10μm
尺寸規(guī)格 外徑 68mm
長度 5inch，10inch，20inch
最大使用條件 最大正向壓差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176 ?F)

產(chǎn)品尺寸

流量-壓差曲線

訂購信息

CMPL

 

精度

直徑

端蓋

長度

密封圈

潔凈度

包裝

N50 (0.05 μm)

N70 (0.07 μm)

001 (0.1 μm)

002 (0.2 μm)

003 (0.3 μm)

005 (0.5 μm)

010 (1 μm)

030 (3 μm)

050 (5 μm)

070 (7 μm)

100 (10 μm)

6 (64mm)

N (222 平頭)

L (222 翅片)

R (226 平頭)

T (226 翅片)

D (平壓)

10 (10”)

20 (20”)

P (三元乙丙橡膠)

E (電子級)

D (干包裝)
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